Il valore target dell'umidità relativa in una camera bianca per semiconduttori (FAB)

Il valore target dell'umidità relativa in una camera bianca per semiconduttori (FAB) è compreso tra il 30 e il 50% circa, consentendo un margine di errore ristretto di ±1%, come nella zona di litografia, o addirittura inferiore nella zona di elaborazione nell'ultravioletto lontano (DUV), mentre altrove può essere abbassato fino a ±5%.
Poiché l'umidità relativa presenta una serie di fattori che possono ridurre le prestazioni complessive delle camere bianche, tra cui:
1. Crescita batterica;
2. Intervallo di comfort della temperatura ambiente per il personale;
3. Appare la carica elettrostatica;
4. Corrosione dei metalli;
5. Condensazione del vapore acqueo;
6. Degradazione della litografia;
7. Assorbimento d'acqua.

Batteri e altri contaminanti biologici (muffe, virus, funghi, acari) possono proliferare in ambienti con umidità relativa superiore al 60%. Alcune comunità batteriche possono crescere anche con umidità relativa superiore al 30%. L'azienda ritiene che l'umidità debba essere mantenuta tra il 40% e il 60%, il che può ridurre al minimo l'impatto di batteri e infezioni respiratorie.

Anche un'umidità relativa compresa tra il 40% e il 60% è un intervallo moderato per il benessere umano. Un'umidità eccessiva può causare una sensazione di soffocamento, mentre un'umidità inferiore al 30% può causare secchezza e screpolature della pelle, difficoltà respiratorie e infelicità emotiva.

L'elevata umidità riduce effettivamente l'accumulo di cariche elettrostatiche sulla superficie della camera bianca, un risultato auspicabile. Una bassa umidità è ideale per l'accumulo di cariche e può rappresentare una fonte potenzialmente dannosa di scariche elettrostatiche. Quando l'umidità relativa supera il 50%, le cariche elettrostatiche iniziano a dissiparsi rapidamente, ma quando l'umidità relativa è inferiore al 30%, possono persistere a lungo su un isolante o su una superficie non messa a terra.

Un'umidità relativa compresa tra il 35% e il 40% può rappresentare un compromesso soddisfacente; le camere bianche per semiconduttori utilizzano solitamente controlli aggiuntivi per limitare l'accumulo di cariche elettrostatiche.

La velocità di molte reazioni chimiche, compresi i processi di corrosione, aumenta con l'aumento dell'umidità relativa. Tutte le superfici esposte all'aria attorno alla camera bianca sono veloci.