Il valore target dell'umidità relativa in una camera bianca a semiconduttori (FAB).

Il valore target dell'umidità relativa in una camera bianca per semiconduttori (FAB) è compreso tra circa il 30 e il 50%, consentendo uno stretto margine di errore di ±1%, come nella zona di litografia - o anche meno nell'elaborazione del lontano ultravioletto (DUV) zona – mentre altrove può essere ridotto a ±5%.
Perché l'umidità relativa ha una serie di fattori che possono ridurre le prestazioni complessive delle camere bianche, tra cui:
1. Crescita batterica;
2. Intervallo di comfort della temperatura ambiente per il personale;
3. Appare la carica elettrostatica;
4. Corrosione dei metalli;
5. Condensazione del vapore acqueo;
6. Degrado della litografia;
7. Assorbimento d'acqua.

Batteri e altri contaminanti biologici (muffe, virus, funghi, acari) possono prosperare in ambienti con umidità relativa superiore al 60%. Alcune comunità batteriche possono crescere con un'umidità relativa superiore al 30%. L'azienda ritiene che l'umidità dovrebbe essere controllata tra il 40% e il 60%, il che può ridurre al minimo l'impatto di batteri e infezioni respiratorie.

Anche l'umidità relativa compresa tra il 40% e il 60% è un intervallo moderato per il comfort umano. Troppa umidità può far sentire le persone soffocate, mentre un'umidità inferiore al 30% può far sentire le persone secche, con la pelle screpolata, con disturbi respiratori e infelicità emotiva.

L’elevata umidità riduce effettivamente l’accumulo di cariche elettrostatiche sulla superficie della camera bianca – un risultato auspicato. Una bassa umidità è ideale per l'accumulo di carica e costituisce una fonte potenzialmente dannosa di scariche elettrostatiche. Quando l'umidità relativa supera il 50%, le cariche elettrostatiche iniziano a dissiparsi rapidamente, ma quando l'umidità relativa è inferiore al 30%, possono persistere a lungo su un isolante o su una superficie senza messa a terra.

Un'umidità relativa compresa tra il 35% e il 40% può essere utilizzata come compromesso soddisfacente e le camere bianche per semiconduttori generalmente utilizzano controlli aggiuntivi per limitare l'accumulo di cariche elettrostatiche.

La velocità di molte reazioni chimiche, compresi i processi di corrosione, aumenterà con l'aumento dell'umidità relativa. Tutte le superfici esposte all'aria intorno alla camera bianca sono veloci.